山东头号重点项目——“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”一期工程,经过18个月的紧张施工建设,今天正式实现通线量产,填补了山东没有硅片生产的空白,半导体产业迎来“德州造”。

在企业生产车间,技术人员正在对刚刚下线的单晶硅片进行最后封装,不久后将出口运往日本。
硅片由高纯度单晶硅拉制而成,直径越大技术难度越大。8英寸硅片目前是芯片市场应用最广的产品,以前70%依靠进口。这个项目量产之后,可实现年产276万片,从而弥补了国内市场巨大缺口。

因此,“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”从立项开始就被确定为山东省2019年头号重点项目,总投资达到了80亿元。为了加速项目落地,德州推行“双线并行、模拟审批”机制,实行建设项目土地征收供应手续和项目规划、施工手续同步办理,实现“拿地即开工”。
8英寸硅片生产工艺非常精密,缺陷尺度要控制在纳米级,对生产条件的要求极为苛刻。车间设计相对复杂。对此,在模拟审批的基础上,德州率先尝试桩基工程和主体工程分开审批。

整个审批环节,为项目节约落地时间4个多月。然而,项目建设关键期却遭遇疫情。省委省政府领导高度重视,市委市政府全力服务,为项目建设开通“快速通道”,保工人返岗复工和建设材料供应,做到了疫情期间不停工。加速建设进度的同时,针对项目生产特殊要求,德州对水、电、气等基础设施配套进行了全要素保障。专门为企业建设了35千伏专用变电站,实行双回路供电。经开区利用4.23亿元的政府专项债券,为有研半导体完成污水处理、绿化工程等方面的基础设施改造;来自北京的骨干工程师、中层经理等住进了中元科创园内的人才公寓。

从立项到投产,8英寸半导体级单晶硅片项目只用了18个月的时间,整整比预期提前了半年。在有研公司落户德州的一年多时间里,北京来的员工没有一人从德州工厂离职,他们都把德州当成了自己的家。要素跟着项目走,服务跟着需求走。有研半导体项目如同一面镜子,折射出德州持续优化营商环境、建立亲清政商关系的努力成果。有了龙头企业带动,目前德州规划建设了270亩的半导体材料产业园区,出台配套政策,推动半导体材料集群式发展。眼下,已经有多家企业洽谈合作,预计年底将有4家企业入驻。
着眼未来,山东有研二期12英寸硅片规模化生产项目正在积极筹备,明年开工建设,建成后将成为我国北方最大的半导体材料基地。
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